两百万比井熙预想的少些，但是她也知道学校的难处，这已经是院长能力范围内最大的帮助了。

关键，还是要见到成果。

钱教授很快就帮她联系到了学校里一间专门做液压和控制系统的实验室合作，那边对光刻机这种大项目也很感兴趣，合作的意愿十分积极。

然后，就是开始拼凑原型机。

当前国际上的主流芯片尺寸是4英寸，蚀刻精度两百纳米以上。

井熙瞄准的是还没有问世的6英寸光刻机，纳米制程控制在200以内——更大的尺寸，更小的纳米制程，只有这样的成果，才能在经费大战中抢到足够的份额。

目前实验室各个技术的储备都有了，但是想要把它们拼凑起来，依然不是一件容易的事情。

即便是一台普通的紫外光刻机，需要的零件也差不多上万，有十来个重要的部件，比如测量台曝光台，发出光源的激光器，光束矫正器和能量控制器，还有掩膜版，掩膜台，物镜等等，每一个部件都需要配合得恰到好处，才能做出一台合格的光刻机。

为了解决掩膜版，也就是一块在内部刻着线路设计图的玻璃板，井熙在国内问了一圈，但是都没办法定做，最后还是花了几十万美元，从国外专门定制了一块。

光是这块掩膜版，就把井熙辛辛苦苦从院长那里要来的经费给花得一干二净，更不用提其他更复杂的结构和部件。

还好合作的液压传动实验室帮了不少忙，解决了绝大多数机械方面的困难，帮井熙节省了不少时间和经费。

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