目前国内的半导体设备,国产化率平均仅16%,可以细分为九个领域。
分别是:氧化/扩散炉(高温炉)、光刻设备、涂胶显影设备、蚀刻设备、离子注入设备、薄膜沉积设备、化学机械抛光设备、检测设备、清洗设备。
氧化/扩散炉(高温炉)市场主要被外资品牌占据,如米国应用材料、东瀛日立、东京电子等企业。国内目前只有北方华创在这个领域发展。
光刻设备方面,之前全球光刻机市场主要由尼德兰的阿斯麦(ASML)、东瀛尼康和佳能三家把持。国内就是刚刚崛起的神光仪器,以及之前的微电子。
涂胶显影设备方面,全球涂胶显影设备龙头为东瀛的东京电子、迪恩士和德意志的苏斯微。国内有竞争力的公司为沈阳芯源微。
刻蚀设备方面,全球刻蚀设备行业前三名分别为拉姆研究、东京电子、应用材料。国内企业里面有中微公司、北方华创。
离子注入设备,全球离子注入机龙头为米国应用材料和Axcelis公司,两家合计占据全球近90%的市场份额。国内企业中,只有凯世通和中科信具备集成电路离子注入机的研发和生产能力。
薄膜沉积设备,目前全球市场高度垄断,应用材料、东京电子和拉姆研究占据了绝大部分的市场。国内企业有北方华创、沈阳拓荆。
化学机械抛光方面,CMP机台市场被应用材料和东瀛的Ebara高度垄断,两者市占率接近90%。国内市场上,华海清科和电科装备45所是主要的研发力量。
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